不(bù)同的(de)機(jī)器(qì‍✘÷σ)人(rén)控制(zhì)各需要(yào)什(shén)麽關鍵技(jì)術(™≈shù)？

機(jī)器(qì)人(rén)控制(zhì)系統是(shì)機(j↕α§ī)器(qì)人(rén)的(de)大(dà)✔φ∏腦(nǎo)，是(shì)決定機(jī)器(qì)人(σφrén)功能(néng)和(hé)性能(néng)的(de)主要(yà∏">o)因素。工(gōng)業(yè)機(jī)器(qì)人(rén)控制(zhì)≤×§技(jì)術(shù)的(de)主要(yào)任&$務就(jiù)是(shì)控制(zhì)工(gō&®∏ng)業(yè)機(jī)器(qì)人(rén)在工(gōng)作(zu§¥ò)空(kōng)間(jiān)中的(d‍ e)運動位置、姿态和(hé)軌迹、操作(zuò)順序及εε÷動作(zuò)的(de)時(shí)間(j₽'¶©iān)等。具有(yǒu)編程簡單、軟件(jiàn)菜單操作(zuò)、友(yǒu)好(♥'∞hǎo)的(de)人(rén)機(jī)交互界面、在線操作(zuò)提示®<和(hé)使用(yòng)方便等特點。

關鍵技(jì)術(shù)包括：

(1)開(kāi)放(fàng)性模塊化(huà)的(de)∑控制(zhì)系統體(tǐ)系結構：采用(yòng)分(fēn)布式CP"∑≈U計(jì)算(suàn)機(jī)結構，分(fēn)為(wèi)機(jī)器(qì)₩‍&人(rén)控制(zhì)器(qì)(RC)，運動控制(zhì≥♣₹)器(qì)(MC)，光(guāng)電(diàn)隔離(lí)I/O控制(zhì)闆、傳感器(qì)處理(lǐ)闆和(hé)編程示教盒等。機(jī)器(ε>qì)人(rén)控制(zhì)器(qì)(RC)和(héλ÷)編程示教盒通(tōng)過串口/CAN總線進行(xíng)通(tōng)訊。機(jī)器(q☆✔↑ì)人(rén)控制(zhì)器(qì)(RC)的≤∞(de)主計(jì)算(suàn)機(jī)完成機(jī)器↔$¥(qì)人(rén)的(de)運動規劃、插補和'• ←(hé)位置伺服以及主控邏輯、數(shù)字I/♦ΩγO、傳感器(qì)處理(lǐ)等功能(néng $)，而編程示教盒完成信息的(de)顯示和(hé→‍)按鍵的(de)輸入。

(2)模塊化(huà)層次化(huà)γ 的(de)控制(zhì)器(qì)軟件(jiàn)系統：軟件σ£♣(jiàn)系統建立在基于開(kāi)源的(de±☆→♦)實時(shí)多(duō)任務操作(zuò)系統Linux上(shàng)φ♦，采用(yòng)分(fēn)層和(hé)模塊化(huà)結構設計(j'™≤ì)，以實現(xiàn)軟件(jiàn)系統的(de)開(kā‌ ®₩i)放(fàng)性。整個(gè)控制(zhì)器(qì)軟件(jiàn)系"‍¥♠統分(fēn)為(wèi)三個(gè)層次：硬件(jiàn)驅動層βφ↑、核心層和(hé)應用(yòng)層。三個(gè)層次分(fēn)别面對(duì)不(bù)同₽£‌的(de)功能(néng)需求，對(duì)應不(bù)同層次的(de)開↓φ(kāi)發，系統中各個(gè)層次內(nèi)部由δ‌‍若幹個(gè)功能(néng)相(xiàπ¥ng)對(duì)對(duì)立的(de)模塊組∞∞成，這(zhè)些(xiē)功能(nén↓"g)模塊相(xiàng)互協作(zuò)共同實現∏‍(xiàn)該層次所提供的(de)功能(néng)。

(3)機(jī)器(qì)人(rén)的(de)故障診斷與安全維護技(jì)術(∞®shù)：通(tōng)過各種信息，對(α☆×∑duì)機(jī)器(qì)人(rén)故障進行(xíng)診‌♦斷，并進行(xíng)相(xiàng)應維護 ★∑，是(shì)保證機(jī)器(qì)人(rén)安全¥>₩性的(de)關鍵技(jì)術(shù)。

(4)網絡化(huà)機(jī)器(qì)人(rén)控制(zh≈ì)器(qì)技(jì)術(shù)：目前機(jī)器(qì)人(rén€"£)的(de)應用(yòng)工(gōng)程®ε↓由單台機(jī)器(qì)人(rén)工(gōng)作(zuò)站π♦§(zhàn)向機(jī)器(qì)人(rén)生(shēng)産線發展，機(jī)器(qì)人↓ (rén)控制(zhì)器(qì)的(de)聯'↕α×網技(jì)術(shù)變得(de)越來(lái)越重要(yào)。控制≈α<"(zhì)器(qì)上(shàng)具有(yǒu)串口、現(x♣&εiàn)場(chǎng)總線及以太網的(de)聯網功能(néng)。可(kě)用(y→♦òng)于機(jī)器(qì)人(rén)控制(zhì)器(qì)₽之間(jiān)和(hé)機(jī)器(qì)人∑£✘(rén)控制(zhì)器(qì)同上(shàng)位機(jī)的(de)通(tōng)訊，便于對(duì)機(jī)器(qì)人(rén)生(shēng)産線進™∑行(xíng)監控、診斷和(hé)管理(lǐ)。

移動機(jī)器(qì)人(rén)(AGV)

移動機(jī)器(qì)人(rén)(AGV)是(shì)工(gōng)業(yσ‍♣è)機(jī)器(qì)人(rén)的(de)一(yī)種類型，∏>&Ω它由計(jì)算(suàn)機(jī)控制(zhì)，具有(yǒu)移動、自(zì)動導航、多(d¶σ>uō)傳感器(qì)控制(zhì)、網絡交互等功能(π↓±∑néng)，它可(kě)廣泛應用(yòng)于機(jī)械、電(diàn)子(zǐ)、紡織÷→ ©、卷煙(yān)、醫(yī)療、食品、造紙(≤₹zhǐ)等行(xíng)業(yè)的(de)柔性搬運、傳輸等功能(né®↑παng)，也(yě)用(yòng)于自(zì)動化(huà)立體(tǐ)↔↔©∑倉庫、柔性加工(gōng)系統、柔性裝配系統(以AGV作(zuò)為(wèi)活動≤$®裝配平台);同時(shí)可(kě)在車(chē)站(zhàn)、機(jī)場(chǎng)、郵÷εσ≥局的(de)物(wù)品分(fēn)撿中作(φπ¥•zuò)為(wèi)運輸工(gōng)具。

國(guó)際物(wù)流技(jì)術(shù)發展的(de)新趨勢之≠÷×∑一(yī)，而移動機(jī)器(qì)人( ≈rén)是(shì)其中的(de)核心技(jì)術♦δ(shù)和(hé)設備，是(shì)用(yòng)現(xiàn)代'物(wù)流技(jì)術(shù)配合、支撐♥™€"、改造、提升傳統生(shēng)産線，實現(xiàn)點對(duì)點自(z‍>✘♣ì)動存取的(de)高(gāo)架箱儲、作(zuò)業(yè)和(hé)搬運相(xiàng)∞&結合，實現(xiàn)精細化(huà)、柔性化('huà)、信息化(huà)，縮短(duǎn)物(wù)流流程，降低(dī)物(wù)料損耗，減☆α±少(shǎo)占地(dì)面積，降低(dī)建設投資等的φε←×(de)高(gāo)新技(jì)術(shù)和(hé)裝備。

點焊機(jī)器(qì)人(rén)

焊接機(jī)器(qì)人(rén)具有(yǒu)性能↕₹(néng)穩定、工(gōng)作(zuò)空(kōng)間(jiφδ‍ān)大(dà)、運動速度快(kuài)←和(hé)負荷能(néng)力強等特點，♦←¶焊接質量明(míng)顯優于人(rén)工(gōng§§)焊接，大(dà)大(dà)提高(gāo)了(le)點焊作(zuò)業(yè)₽✘的(de)生(shēng)産率。

點焊機(jī)器(qì)人(rén)主要(yào)用(yòng)于汽車(chē)整車(chē)的≤±±₹(de)焊接工(gōng)作(zuò)，生(shē‍$λφng)産過程由各大(dà)汽車(chē)主機(jī)廠(chǎng)負責完成。•↔ 國(guó)際工(gōng)業(yè)機(jī)器(qì)人(rén)企業(yφ‍§è)憑借與各大(dà)汽車(chē)企業(yè)的(de)長(cháng)期合作(zuò)× 關系，向各大(dà)型汽車(chē)生(shēng)産企業(yè)提供各類®→↓點焊機(jī)器(qì)人(rén)單元産品并以焊接機(jī)器(qì)人(rén)與整車(ch↓★✘ē)生(shēng)産線配套形式進入中國(guó)，在該領域占據市(shì)場(chΩ✘±ǎng)主導地(dì)位。

随著(zhe)汽車(chē)工(gōng)業(yè)的σ$∞∏(de)發展，焊接生(shēng)産線要(yào)求焊鉗一(yī)體(tǐ)化(huà)，重量越₩₽♥來(lái)越大(dà)，165公斤點焊機λ&¥(jī)器(qì)人(rén)是(shì)目前汽車(chē)焊接中最常用(yòng)的(de)一(π∏yī)種機(jī)器(qì)人(rén)。2008年(nián)9月(yuè)，機(j↓φ‍ī)器(qì)人(rén)研究所研制(z‌☆↔hì)完成國(guó)內(nèi)首台165公斤級點焊機(jī)器(qì)人(rén)₽¶✘，并成功應用(yòng)于奇瑞汽車(chē)焊接車™↕♦(chē)間(jiān)。2009年(nián)9月(yuè)，經過優化(h ♥uà)和(hé)性能(néng)提升的(de)第二台機(jī)器(qì™✔)人(rén)完成并順利通(tōng)過驗收，該機(jī)器(q↓'φì)人(rén)整體(tǐ)技(jì)術(shù)指标已經<♦>達到(dào)國(guó)外(wài)同類機(jī)器(qì)人(rén↔∞)水(shuǐ)平。

弧焊機(jī)器(qì)人(rén)

弧焊機(jī)器(qì)人(rén)主要(yào)應用(yòng¥✘φ)于各類汽車(chē)零部件(jiàn)的(de)焊接生(shēng)産。在該領域，國(guó)際≈σ♣¶大(dà)型工(gōng)業(yè)機(jī)器(qì)人(réΩεφn)生(shēng)産企業(yè)主要(yào)以向成套裝備供≈'®應商提供單元産品為(wèi)主。本公司主要(yào)從(cóng)事φ‌§(shì)弧焊機(jī)器(qì)人(rén)成套裝備的(de§★)生(shēng)産，根據各類項目的(de)不(bù)同需求，自(zì)行(xíng)生(shē≈→ng)産成套裝備中的(de)機(jī)器(qì)人(rén)單元産品，也σ >₽(yě)可(kě)向大(dà)型工(gōng)業(yè)機(jī)器(qì)人(ré ✘n)企業(yè)采購(gòu)并組成各類弧焊機(→™jī)器(qì)人(rén)成套裝備。在該領域，本公司與↕"↓國(guó)際大(dà)型工(gōng)業(yè)機(jī)器(qì)©≈←↕人(rén)生(shēng)産企業(yè)既是(shì)競争亦是(shì)合£☆&©作(zuò)關系。

關鍵技(jì)術(shù)包括：

(1)弧焊機(jī)器(qì)人(rén)系統優化(huà<¶₹©)集成技(jì)術(shù)：弧焊機(jī)器(qì)人(r ↔↔™én)采用(yòng)交流伺服驅動技(jì)術(shù)以及高(gāoπ±)精度、高(gāo)剛性的(de)RV減速機(jī)和(hé)諧波減速器(qì)，具有(yǒ©→ε$u)良好(hǎo)的(de)低(dī)速穩定性和(hé)高(gāo)速動态響應λ♣λ，并可(kě)實現(xiàn)免維護功能(néng)。

(2)協調控制(zhì)技(jì)術(shù)：控制(zhì)多(duō)機(jī)器(qì σ)人(rén)及變位機(jī)協調運動，既能(néng)保持焊槍和(hé)工(gōng)↕≥✘件(jiàn)的(de)相(xiàng)對(duì)姿态以滿足焊接工(gōng)藝的(de)要(y∞↕ào)求，又(yòu)能(néng)避免焊槍和(hé)工(gōn÷¶₹♥g)件(jiàn)的(de)碰撞。

(3)精确焊縫軌迹跟蹤技(jì)術(shù)：結合激光(guāng)傳感器(qì)""和(hé)視(shì)覺傳感器(qì)離(lí)線工(gōng)作(zuò)方式的§α≤<(de)優點，采用(yòng)激光(guāng)傳感器(•☆πqì)實現(xiàn)焊接過程中的(de)焊縫跟蹤，提升焊接機(jī)器(α±÷γqì)人(rén)對(duì)複雜(zá)工(gōng)件(jiàn)進行(xí"∞≥☆ng)焊接的(de)柔性和(hé)适應性，結合視(shì)覺¶•₽傳感器(qì)離(lí)線觀察獲得(de)焊縫跟蹤的(de)殘餘偏差，基于偏差統計(jì)獲得(d→∞&•e)補償數(shù)據并進行(xíng)機(j ♥ī)器(qì)人(rén)運動軌迹的(d↔☆₹εe)修正，在各種工(gōng)況下(xià)都(dōu)能(néng)獲得(←÷de)最佳的(de)焊接質量。

激光(guāng)加工(gōng)機(jī)器(qì)人(rén)

激光(guāng)加工(gōng)機(jī)器(q≤&ì)人(rén)是(shì)将機(jī)器(qì)人(rén)技(jìελ)術(shù)應用(yòng)于激光(guāng)加φ✔₩工(gōng)中，通(tōng)過高(gāo)精度工(gō ←ng)業(yè)機(jī)器(qì)人(rén)實現(xiàn)更加柔性的(de$δ)激光(guāng)加工(gōng)作(zuò)業(yè)。本系統通(tōng)₹→¶¶過示教盒進行(xíng)在線操作(zuò)，也(yě)可(kě)通(tōng)過離(∞βlí)線方式進行(xíng)編程。該系統通(tōng)過對(duì)↓→<加工(gōng)工(gōng)件(jiàn)的(de)自(zì)動檢測，産生(shēng)加工(g♠¥₩ōng)件(jiàn)的(de)模型，繼而生(shēng)成加工(gōng)曲線，也&π≤(yě)可(kě)以利用(yòng)CAD¥↑☆數(shù)據直接加工(gōng)。可(kě)用(yòng)于工(gōng)件(jiàn)的 ±$(de)激光(guāng)表面處理(lǐ)、打孔、焊接和(hé)模具修複等✘&←。

關鍵技(jì)術(shù)包括：

(1)激光(guāng)加工(gōng)機(jī)器(qì)人(rén)結構優化(huà₽☆)設計(jì)技(jì)術(shù)：采用(yòng)大(dà)範圍框架式本體 ←<↑(tǐ)結構，在增大(dà)作(zuò)業(yè)範圍的(de)同時(shí)，保證機(jī)器&>☆∏(qì)人(rén)精度;

(2)機(jī)器(qì)人(rén)系統的₩←↑φ(de)誤差補償技(jì)術(shù)：針對(duì)一(yī)體(tǐ)化(huà)加 ‌工(gōng)機(jī)器(qì)人(rén)工(gōng)作(zε☆δuò)空(kōng)間(jiān)大(dà)，精度高(gāoφ✘₩←)等要(yào)求，并結合其結構特點，采取非模型方法與基于模型™>★ 方法相(xiàng)結合的(de)混合機(jī)器(qì)人(rén)補償方法，₽↑完成了(le)幾何參數(shù)誤差和(h☆☆↑₩é)非幾何參數(shù)誤差的(de)補償。

(3)高(gāo)精度機(jī)器(qì)人(rén)檢↕±₹測技(jì)術(shù)：将三坐(zuò)标測量技(jì)術(shù)和(hé)機( αjī)器(qì)人(rén)技(jì)術(shù)相 >(xiàng)結合，實現(xiàn)了(le)機(α★jī)器(qì)人(rén)高(gāo)精度在線測量。

(4)激光(guāng)加工(gōng)機(jī)器(qì)人(rén)專用(yòn§φπg)語言實現(xiàn)技(jì)術(s$♥&φhù)：根據激光(guāng)加工(gōng)及機(jī)器(qì)人(rén)作↕←π(zuò)業(yè)特點，完成激光(guāng)加工(gōng)機(jī)器(qì)人(rén₩£π↓)專用(yòng)語言。

(5)網絡通(tōng)訊和(hé)離(lí)線編程技(jì)術(s•"←Ωhù)：具有(yǒu)串口、CAN等網絡通(tōng)訊功<£能(néng)，實現(xiàn)對(duì)機(jī)器(qì)人(rén)生(shēng↕±Ω)産線的(de)監控和(hé)管理(lǐ);并實現(xiàn)上(shàng♠☆‍)位機(jī)對(duì)機(jī)器(qì)人(rén)的(de)離(lí)線λ✔≥編程控制(zhì)。

真空(kōng)機(jī)器(qì)人(rén)

真空(kōng)機(jī)器(qì)人(rén)是(shì)一(yī)種在≈★δ'真空(kōng)環境下(xià)工(gōng♠↑♣ )作(zuò)的(de)機(jī)器(qì)人(rén)，主要(yπσ¥≥ào)應用(yòng)于半導體(tǐ)工(gōng)業₹"€>(yè)中，實現(xiàn)晶圓在真空(kōng)腔室內(nèi₹σ®®)的(de)傳輸。真空(kōng)機(jī)械手難進口、受§≠β限制(zhì)、用(yòng)量大(dà)、通(tōng)用(yò÷©¥ng)性強，其成為(wèi)制(zhì)約了(le)半導體(tǐ)裝備整機★♦₩β(jī)的(de)研發進度和(hé)整機(jī)産品競争力的(de)✘∞±關鍵部件(jiàn)。而且國(guó)外(wài)對(duì≥♦)中國(guó)買家(jiā)嚴加審查，歸屬于禁運産品目錄，真空(kōn×≠✔g)機(jī)械手已成為(wèi)嚴重制(zhì)約我國(guó)半導體(tǐ)設備整機(jī)裝備制(zhì)造的(de)“卡脖子(zǐ)”問(wèn)題€₽'♣。直驅型真空(kōng)機(jī)器(qì)人(rén)技(jì)術(shù)屬于原始創新技(j‌✔×ì)術(shù)。

關鍵技(jì)術(shù)包括：

(1)真空(kōng)機(jī)器(qì)人(rén)新構型設計(jì)技(¥↓jì)術(shù)：通(tōng)過結構分(fēn)析和(hé)優化(huà)設ε☆∞計(jì)，避開(kāi)國(guó)際專利，設計(jì)新構型滿足真空(kōn→≠•g)機(jī)器(qì)人(rén)對(d♥ uì)剛度和(hé)伸縮比的(de)要(yào)求;

(2)大(dà)間(jiān)隙真空(kōng)直驅電(d"↓iàn)機(jī)技(jì)術(shù)：涉及大(dà)間(jiān)隙真空(kōng)直接驅動電≥↓∞(diàn)機(jī)和(hé)高(gāo)潔淨直驅電✘¥ (diàn)機(jī)開(kāi)展電(diàn)機(jī)理'λλ(lǐ)論分(fēn)析、結構設計(jì)、制(zhì)作(zuò)€&¶£工(gōng)藝、電(diàn)機(jī)材料表÷ε$面處理(lǐ)、低(dī)速大(dà)轉矩控制(zh ‍♦₽ì)、小(xiǎo)型多(duō)軸驅動器(↕>Ω®qì)等方面。

(3)真空(kōng)環境下(xià)的(de)多(du'☆ō)軸精密軸系的(de)設計(jì)。采用(yòng)軸在軸中的λ♣(de)設計(jì)方法，減小(xiǎo)軸之間(jiāβ↕n)的(de)不(bù)同心以及慣量不(bù)對(duì)稱的(de)問(wèn)題。

(4)動态軌迹修正技(jì)術(shù)：通(tō‍σ•"ng)過傳感器(qì)信息和(hé)機(jī)器(qì)人(rén)運動信息的(de)融合，"↔檢測出晶圓與手指之間(jiān)基準位置之間(jiān)的(de)偏移，通(t ♥ōng)過動态修正運動軌迹，保證機(jī)器(qì)人(r©γ↑én)準确地(dì)将晶圓從(cóng)真空(kōng)腔室中的(de)一(yī)個(gβ"‌ è)工(gōng)位傳送到(dào)另一(♥¥★yī)個(gè)工(gōng)位。

(5)符合SEMI标準的(de)真空(kōng)機(jī)器(qì)人♦ •(rén)語言：根據真空(kōng)機(jī)器(qì)人(réΩπ §n)搬運要(yào)求、機(jī)器(qì)人(ré₽φ n)作(zuò)業(yè)特點及SEMI标準，完∏ ×成真空(kōng)機(jī)器(qì)人(r>÷φ♦én)專用(yòng)語言。

(6)可(kě)靠性系統工(gōng)程技(j★✘§♣ì)術(shù)：在IC制(zhì)造中，設備故 δ™障會(huì)帶來(lái)巨大(dà)的(de)損失。根據半導體(tǐ)設備對(duì)MCB✘φF的(de)高(gāo)要(yào)求，對(duì)各個(gè)部件(jià≈→✔₩n)的(de)可(kě)靠性進行(xíng)測試、評價和(hé)控制(zhì)，提高(gā≈εo)機(jī)械手各個(gè)部件(jiàn)的(de)可(kě)靠性，從(cón±γg)而保證機(jī)械手滿足IC制(zhì)造的(de)高(gāo)要(yào)求。

潔淨機(jī)器(qì)人(rén)

潔淨機(jī)器(qì)人(rén)是(shì)一(yī)種‍γ®在潔淨環境中使用(yòng)的(de)工(gōng)業(y'≠è)機(jī)器(qì)人(rén)。随著(zhe)生(♦₩£shēng)産技(jì)術(shù)水(shuǐ)平不(bù)斷提高(gāo∑ )，其對(duì)生(shēng)産環境的(de)要(yào)求也(yě)日(rì)益苛刻，很(h® ěn)多(duō)現(xiàn)代工(gōng)業(yè₽®±)産品生(shēng)産都(dōu)要(yào)求在潔淨環境進行(xíng)，潔γ♦λ淨機(jī)器(qì)人(rén)是(shì)潔淨環境下(xià)生(s§β‍∞hēng)産需要(yào)的(de)關鍵設備。

關鍵技(jì)術(shù)包括：

(1)潔淨潤滑技(jì)術(shù)：通(tōng)過采用(yòng)負壓抑Ωσ塵結構和(hé)非揮發性潤滑脂，實現(xiànδα)對(duì)環境無顆粒污染，滿足潔淨要(yào)βε™求。

(2)高(gāo)速平穩控制(zhì)技(j↑☆§ì)術(shù)：通(tōng)過軌迹優化(huà)和(hé)提高(gāo)關∞↑γ₩節伺服性能(néng)，實現(xiàn)潔淨搬運的(de)平穩性。

(3)控制(zhì)器(qì)的(de)小(₽≥xiǎo)型化(huà)技(jì)術(shù)：根據潔淨室建造和(hé)運營成本高(gāo)，通(∞'≈•tōng)過控制(zhì)器(qì)小(xiǎo)型化(huà)‍♥↕技(jì)術(shù)減小(xiǎo)潔淨機(jī)器(qì)人(rén)的(de)占用(yòng ≥ )空(kōng)間(jiān)。

(4)晶圓檢測技(jì)術(shù)：通(tōng)α©£₽過光(guāng)學傳感器(qì)，能(néng)夠通(tōng)過機(jī)器(qì"₹™)人(rén)的(de)掃描，獲得(de)卡匣中晶圓有(yǒu)"γ‌無缺片、傾斜等信息。